Browsing by Author "Пилипенко, В. А."

Now showing items 1-20 of 28

    • Алгоритм неразрушающих измерений пространственного распределения примеси железа в кремнии 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Свистун, А. И. (БНТУ, 2014)
      Алгоритм неразрушающих измерений пространственного распределения примеси железа в кремнии / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 52-54.
      2015-03-16

    • Алгоритмы обработки визуализированных изображений при картировании дефектов полупроводниковых пластин 

      Тявловский, А. К.; Жарин, А. Л.; Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Тявловский, К. Л.; Пантелеев, К. В.; Микитевич, В. А.; Пилипенко, В. А.; Петлицкий, А. Н. (БНТУ, 2016)
      Алгоритмы обработки визуализированных изображений при картировании дефектов полупроводниковых пластин / А. К. Тявловский [и др.] // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 391-393.
      2017-04-04

    • Биполярные n-p-n транзисторы в интегральных схемах с расширенным интервалом области максимального значения коэффициента усиления 

      Оджаев, В. Б.; Панфиленко, А. К.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Просолович, В. С.; Филипеня, В. А.; Черный, В. В.; Явид, В. Ю.; Янковский, Ю. Н. (БНТУ, 2019)
      Биполярные n-p-n транзисторы в интегральных схемах с расширенным интервалом области максимального значения коэффициента усиления / В. Б. Оджаев [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 347-348.
      2020-01-03

    • Визуализация пространственного распределения примеси железа в кремнии на основе методов зондовой электрометрии 

      Воробей, Р. И.; Жарин, А. Л.; Микитевич, В. А.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Пилипенко, В. А.; Петлицкий, А. Н. (БНТУ, 2015)
      Визуализация пространственного распределения примеси железа в кремнии на основе методов зондовой электрометрии / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2015 : материалы 8-й международной научно-технической конференции, Минск, 25-27 ноября 2015 г. : в 2 т. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2015. – Т. 1. - С. 169-171.
      2016-10-04

    • Влияние адгезии на период свободных микрокачаний маятника 

      Джилавдари, И. З.; Пилипенко, В. А.; Ризноокая, Н. Н. (БГУИР, 2008)
      В статье экспериментально и теоретически показано, что наблюдаемая в области малых амплитуд колебаний зависимость периода от амплитуды у маятника, который опирается двумя шариками на плоскую поверхность, может быть следствием влияния сил адгезионного взаимодействия тел на пятне упругого контакта. На этой основе получены оценки давления сил адгезии и плотности энергии адгезионного ...
      2020-09-04

    • Зондовые зарядочувствительные приборы и методы для контроля и визуализации электрофизических параметров полупроводниковых пластин 

      Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Турцевич, А. С.; Тявловский, А. К. (БНТУ, 2014)
      Зондовые зарядочувствительные приборы и методы для контроля и визуализации электрофизических параметров полупроводниковых пластин / О. К. Гусев [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 12-14.
      2015-03-16

    • Зондовые электрометрические методы для измерения удельного электрического сопротивления ионно-легированных и диффузионных слоев 

      Тявловский, А. К.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Пантелеев, К. В.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Свистун, А. И.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2019)
      Зондовые электрометрические методы для измерения удельного электрического сопротивления ионно-легированных и диффузионных слоев / А. К. Тявловский [и др.] // Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13–15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2019. – С. 36-38.
      2020-01-03

    • Измерительная система контроля полупроводниковых пластин СКАН-2013 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Свистун, А. И. (БНТУ, 2014)
      Измерительная система контроля полупроводниковых пластин СКАН-2013 / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 54-56.
      2015-03-16

    • Исследование границы раздела алюминий-поликремний после воздействия длительного и быстрого термических отжигов методом энергодисперсионного рентгеновского микроанализа 

      Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Жигулин, Д. В.; Шестовский, Д. В. (БНТУ, 2023)
      Приведены результаты исследования границы раздела алюминий-поликремний после воздействия длительного и быстрого термических отжигов методом энергодисперсионного рентгеновского микроанализа. Установлено, что при термическом отжиге (450 оС, 20 мин) поликремний полностью растворяется в алюминии с последующей его сегрегацией в виде отдельных агломератов в пленке алюминия. При быстром ...
      2023-12-21

    • Комплекс для неразрушающего контроля субмикронной топологии кремниевых пластин при производстве интегральных микросхем 

      Чижик, С. А.; Басалаев, С. П.; Пилипенко, В. А.; Худолей, А. Л.; Кузнецова, Т. А.; Чикунов, В. В.; Суслов, А. А. (БНТУ, 2013)
      Описаны преимущества использования атомно-силовой микроскопии для контроля технологических процессов при изготовлении интегральных микросхем субмикро- электроники. Показана возможность визуализации морфологии поверхностей и профиля травления, оценки периодичности гребенок шин, определения стабильности размеров для одной шины. Выполнены работы по совмещению оптической и атомно-силовой ...
      2013-11-01

    • Контроль дефектов структуры кремний-диэлектрик на основе анализа пространственного распределения потенциала по поверхности полупроводниковых пластин 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Турцевич, А. С.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л. (БНТУ, 2013)
      Рассмотрено применение метода Кельвина–Зисмана (контактной разности потенциалов) для неразрушающего контроля и выявления дефектов структур кремний-диэлектрик. Метод использовался для визуализации распределения электрического потенциала поверхности и изгиба энергетических зон по поверхности термически окисленной кремниевой пластины, легированной бором. Полученная картина распределения ...
      2014-06-02

    • Контроль параметров границы раздела кремний-двуокись кремния после быстрой термообработки методами исследования вольтфарадных характеристик и зондовой электрометрии 

      Жарин, А. Л.; Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Пантелеев, К. В.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А. (БНТУ, 2018)
      Контроль параметров границы раздела кремний-двуокись кремния после быстрой термообработки методами исследования вольтфарадных характеристик и зондовой электрометрии / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : ...
      2019-04-17

    • Метод бесконтактного измерения удельного электрического сопротивления барьерных слоев 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Свистун, А. И.; Тявловский, К. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А. (БНТУ, 2018)
      Метод бесконтактного измерения удельного электрического сопротивления барьерных слоев / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2018 : материалы 11-й Международной научно-технической конференции, 14-16 ноября 2018 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2018. – С. 12-13.
      2019-04-12

    • Метод и установка контроля плоскостности кремниевых пластин 

      Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Понарядов, В. В.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н. (БНТУ, 2011)
      Предложен метод и разработана установка лазерного контроля стрелы прогиба и профиля изгиба полупроводниковых пластин. Метод основан на регистрации отклонения отраженного лазерного луча от положения, соответствующего отражению от идеально плоской поверхности. Установлено, что по результатам определения угла наклона касательной в любой точке поверхности, определяемой путем ...
      2012-03-26

    • Методические основы определения энергетического спектра заряда на ловушках в структуре кремний-диэлектрик средствами зондовой электрометрии 

      Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Свистун, А. И. (БНТУ, 2014)
      Методические основы определения энергетического спектра заряда на ловушках в структуре кремний-диэлектрик средствами зондовой электрометрии / Р. И. Воробей [и др.] // Приборостроение-2014 : материалы 7-й Международной научно-технической конференции (19–21 ноября 2014 года, Минск, Республика Беларусь) / ред. колл.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск : БНТУ, 2014. – С. 56-58.
      2015-03-16

    • Методы и средства фотостимулированной зондовой электрометрии для контроля параметров полупроводниковых пластин 

      Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Тявловский, А. К. (БНТУ, 2016)
      Методы и средства фотостимулированной зондовой электрометрии для контроля параметров полупроводниковых пластин / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 12-14.
      2017-02-28

    • Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» 

      Соловьёв, Я. А.; Пилипенко, В. А.; Яковлев, В. П.; Хлопков, Н. С.; Гринцевич, Е. В.; Сарычев, О. Э. (БНТУ, 2020)
      Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке «УБТО 1801» / Я. А. Соловьёв [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 313-315.
      2021-02-09

    • Модель твердофазной рекристаллизации механически нарушенного слоя кремния при быстрой термообработке 

      Пилипенко, В. А.; Омельченко, А. А. (БНТУ, 2023)
      Целью работы являлись разработка модели твердофазной рекристаллизации нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин после химико-механической полировки с применением импульсной фотонной обработки и ее математическое описание. Показано, что за счет снижения энергии активации скорости рекристаллизации нарушенного слоя кремния при его нагреве световыми импульсами до температуры ...
      2023-12-21

    • Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники 

      Жарин, А. Л.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Гусев, О. К.; Воробей, Р. И.; Пантелеев, К. В. (БНТУ, 2020)
      Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, 18–20 ноября 2020 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2020. – С. 78-80.
      2021-02-09

    • Принципы построения электрометрического зонда для контроля пространственного распределения поверхностной фотоЭДС 

      Жарин, А. Л.; Тявловский, А. К.; Тявловский, К. Л.; Воробей, Р. И.; Гусев, О. К.; Пилипенко, В. А.; Петлицкий, А. Н. (БНТУ, 2016)
      Принципы построения электрометрического зонда для контроля пространственного распределения поверхностной фотоЭДС / А. Л. Жарин [и др.] // Приборостроение-2016 : материалы 9-й международной научно-технической конференции, Минск, 23-25 ноября 2016 г. / Белорусский национальный технический университет ; редкол.: О. К. Гусев [и др.]. – Минск, 2016. – С. 52-53.
      2017-03-06